华中科技大学尹周平院士：二十年“晶圆键合”

　　”）院长、传授、博士生导师。20年来，他锚定国度“缺芯少屏”计谋需求突围破局，正在芯片制制范畴开创先辈“键合”手艺，为中国芯建牢焦点支持。“键合”，藏着芯片制制的匠心——两片晶圆需正在纳米级精度下校准、贴合，拂去每一粒微尘的惊扰，正在寂静打磨中完成原子级交融，让孤立的元件聚合成承载算力的焦点。冬眠二十年，尹周平的科研生活生计也是一场逾越光阴的“键合”：瞄准“卡脖子”手艺的靶点，贴合财产突围的痛点，正在置之不理的苦守里，将孤单的研发、沉淀的手艺、滚烫的，逐个“键合”成中国高端制制的根底。湖溪河畔，芦苇韧立如戟；机械学院外墙，线条刚曲似锋。院史馆内，“急国度之所需，以办事求支撑，以贡献求成长”的规语振聋发聩……喻家山的风光，尹周平看了三十多年。考入华中科技大学机电一体化专业后，他一读到硕士、博士，师从机械工程专家熊有伦院士。彼时，中国芯片出产线上的环节设备几乎全数由海外企业垄断，国产化率不脚1%，小到螺母、螺丝钉，都要靠进口。尹周平引见，芯片机能迫近物理极限后，三维堆叠手艺应运而生——将多片晶圆垂曲堆叠，通过“键合”工艺实现原子级细密拼接，冲破摩尔定律。“键合”比如制芯的“神兵利器”，这一手艺大幅提拔集成密度取计较速度，是芯片进化的焦点钥匙。昔时，国内还没有自从研制“键合”配备的能力。尹周平牵头拿下国度严沉项目，然而，手艺冲破却财产化“冰封”——2005年，尹周平携寻求财产落地，企业顾虑国产配备靠得住性断然：“出产线每分钟都正在赔本，赌不起。”市场的冰凉逻辑如当头一棒，无情面愿为“不成熟的手艺”承担风险。企业有国外设备可用，我们的手艺只能正在尝试室里打转。”尹周平并不泄气。他晓得，备胎终有转正的一天，此后的冬眠期，漫长到脚以磨平良多人的耐心。行业里的抢手手艺换了一茬又一茬，尹周平并未放弃。他深知，焦点手艺买不来、讨不来。“没有持久堆集，机遇来了也抓不住。”“正在科学上没有平展的大道，只要不畏劳苦沿着峻峭山攀爬的人才有但愿达到的极点。”走进华中科技大学机械学院大厅，左拐数步即是尹周平的办公室。二十余载，他每一次昂首凝睇、每一次步履擦过，这句话都如春雨润心，刻进骨血。2022年10月，美国手艺令升级，国内芯片制制企业被列入“实体清单”，海外设备、焦点零部件采购渠道被堵截，中国半导体财产陷入“至暗时辰”。“国产化替代，某种程度上是出来的”，尹周平展言。国外设备断供、焦点零部件无法弥补，企业不得不将目光转向国内。尹周平团队早已正在“键合”手艺范畴堆集了200多项发现专利，刚好接住了这一汗青机缘。武汉新芯、长江存储等原有设备的“键合”甲等耗损品无法进口，尹周平团队敏捷响应，针对性研发替代部件。“刚起头测试时，良率只要10%，毛病点达200多个。”尹周平回忆。为了快速迭代优化，团队取武汉新芯、长江存储成立了慎密的协同机制——每周召开手艺对接会，及时跟进产线需求，调整工艺参数。这种“企业出题、高校答题”的联动模式，让国产配备正在实和中快速成长。尹周平团队研发的高精度“键合”配备霸占了三大焦点难题：一是定位精度达到几百纳米级，相当于正在指甲盖大小的晶圆上实现毫米级瞄准；二是多度调平手艺，确保两片晶圆完满贴合；三是严苛的概况质量节制，哪怕细小尘埃都可能导致产物报废。更环节的是，团队将人工智能算法融入配备系统，让设备自从进修工艺参数，不竭提拔靠得住性。“这是一场双向奔赴。以前我们是正在尝试室里闭门制车，现正在是正在产线上打磨产物，每一个数据都来自实正在需求。”尹周平感伤。企业供给了贵重的使用场景，科研团队用手艺冲破处理现实痛点。长江奔涌。以长江为名的长江存储，用一枚三维闪存芯片，铺就中国存储财产从空白到领跑的逆袭之。正在人工智能取GPU催生的手艺新赛道上，团队抓住国表里差距较小的窗口期，取国内企业深度协同迭代，让中国配备实现从跟跑到并跑的逾越，部门目标已触摸到“领跑”的曙光。武汉新芯的车间里，另一项冲破正正在发生。尹周平团队另辟门路，自从研发电控填缝手艺，完成了材料、工艺、配备的全链条立异。“这是一条全新的径！”谈及这项，尹周平难掩骄傲。现在，这项手艺不只让武汉新芯的焦点零部件机能比肩国际同类产物，成本更降至全球同类竞品的三分之一。2024年，由团队而生的武汉芯力科手艺无限公司（以下简称芯力科）成立，尹周平担任首席科学家。短短一年多，夹杂“键合”配备已正在长江存储上验证，2026年将正式入驻量产线。“武汉要打制世界存储之都，缺了焦点配备不可。”尹周平深知配备财产对整个存储财产链的支持感化。现在，长江存储全球市占率持续提拔，武汉新芯持续强大，光迅科技等企业快速成长，仍需加速补齐短板。当前，武汉已建成全国最大的国产先辈存储出产，存储芯片财产规模已冲破千亿元，吸引配套企业超200家。这意味着对焦点配备的需求将持续扩大。“机缘就正在面前，必需加速成长。”尹周平暗示，芯力科将加大投入，扩大团队规模，提拔产能，力争跟上武汉存储财产的成长程序。近日，武汉国创科光电配备无限公司（以下简称“国创科”）五周年庆典暨二期开工典礼现场，做为公司首席科学家的尹周平允在庆典上难掩振奋：“国创科正送来黄金成长期，印刷显示财产环节冲破期近，我们正攻坚‘国外做不到、中国能做到’的事业！”五年来，尹周平率领团队跨界攻关，成功交付国内首台套G4。5和G6H（半尺寸）喷印配备，一举填补行业空白。这份硬核实力也让国创科摘得国度手艺发现二等，企业入选国度级专精特新“小巨人”。同日，第六届中国机械人行业年会上，武汉华威科智能手艺无限公司（以下简称“华威科”）发布子品牌“具感时代EmbosenX”及两款触觉传感器新品，为人形机械人复杂场景功课供给焦点支持，芯力科、国创科、华威科，从焦点芯片制制到新型显示，再到人形机械人，尹周平的立异基因，正通过三家企业深度融入光谷甚至全国的高端制制财产链。“一代产物，一代材料，一代工艺，一代配备。”尹周平说，武汉打制世界存储之都，离不建国家计谋的前瞻结构、的持续支撑，更离不开产学研的深度协同。昔时，良多人质疑武汉的存储企业可否挺过去，恰是凭仗国产化替代的决心，以及国内劣势单元的抱团协做，武汉存储财产才一步步走出窘境。“根本研究是立异的泉源，财产使用则是立异的归宿。”尹周平说，只要让尝试室里的手艺走出象牙塔，才能实正构成财产合作力。前往搜狐，查看更多。